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半导体测试设备

  • 飞行时间二次离子质谱
飞行时间二次离子质谱

飞行时间二次离子质谱

  • 飞行时间二次离子质谱
  • 产品描述:TOFSIMS

飞行时间二次离子质谱

飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)是一种非常灵敏的表面分析技术。可以广泛应用于物理,化学,微电子,生物,制药,空间分析等工业和研究方面。TOF-SIMS可以提供表面,薄膜,界面以至于三维样品的元素,分子等结构信息。


技术参数:
. 并行探测所有离子,包括有机和无机分子碎片。
. 无限的质量探测范围(实际测量中大于1000m/z 原子量单位)。
. 完全透过率下实现高的质量分辨率。
. 极高的横向和纵向空间分辨率(横向小于100纳米,纵向小于1纳米)。
. 探测灵敏度可达ppm或ppb量级。
. 质量探测分辨率(M/ΔM) >1000
. 质量探测准确度 ≥20 milli 质量单位
. 反射性分析器
. 5 分钟样品腔真空度可从大气环境达到真空工作环境

主要特点:
.  超高的表面灵敏度(1x109 atoms/cm2)
·  操作简单(? day training)
· 1 分钟分析,样品处理流程 <7分钟
· 导体和绝缘体表面均可测试
· 可得到元素和分子信息
· 从元素中分离出普通有机物
· 正电和负电的 二次离子质谱
· 同位素分析
· 分析面积 ~0.5 mm
·  溅射预清洗表面
· 提供材料数据库


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