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等离子体技术

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等离子体清洗机


1.      腔体:140*200*110;多种腔体定制。

2.      发生器: 100W20-100KHz;多种功率发生器定制。

3.      控制器:7英寸触摸屏,自动&手动控制 。

4.      体积:580*580*340。

选配:石英腔体(直径100*200mm;多种石英腔体定制

RIE模式,双模工作,多组电极设计



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联系人:张垚

手机:13916851268

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